Termocouple BF Multipoint principal

El horno de difusión de oxidación es un equipo de proceso clave para la producción de células fotovoltaicas. Mezcla y difunde pequeñas cantidades de boro, fósforo y otros elementos en la oblea de silicio a altas temperaturas para preparar uniones PN y compone circuitos integrados de ella.

Descripción de los productos

Es común usar termopares que midan las partes internas y externas del horno para controlar la temperatura interna del horno de difusión que podría realizar el proceso de oxidación. Cada zona de temperatura especificada tiene un termopar externo e interno para asegurarse de que los resultados de la medida sean confiables. Los termopares internos se usan para medir la temperatura de la oblea, comúnmente tiene 3 ~ 9 puntos de medida, que representan la temperatura de la oblea con precisión. Los termopares externos se usan para detectar la superficie externa del tubo del horno, cada uno comúnmente tiene solo un par de cables, para dar una medida indirecta del horno. Por lo general, la temperatura del proceso de oxidación es más baja que el proceso de difusión, por lo tanto, se podría implementar el térmico BF multipunto principal de tipo K y N

Parámetros técnicos	Termocouple BF Multipoint principal
Parámetros técnicos	Adentro
Tipo	K,N
Diámetro de alambre o mims	φ2~4
Temperatura de trabajo (grado)	0~950
Precisión (grado)	± 1.5 o 0. 4%· t
Longitud del tubo protectora (mm)	Menos de o igual a 4000
Diámetro de tubo protector (mm)	φ14~22
Material de tubo protector	310 o 321
Estructura de extremo caliente	Aislado
Número de puntos	3 ~ 9 puntos
Terminación	Conector pequeño
Cable de compensación	Kx (nx) {{0}} × 0.5fpf
Características de la estructura	Fácil de desmontar, T/C para cualquier punto se puede eliminar si es necesario