Termopar de perfil de semiconductores

Tipo: S, R
Diámetro de alambre o mims: φ {{0}}. 35 ~ 0.5
Temperador de trabajo (grado): 0 ~ 1100
Número de puntos: 3 ~ 6 puntos
Aplicación: Control de temperatura para el proceso de fabricación de células fotovoltaicas (PV).

Solicitud

El horno de difusión de oxidación es un equipo de proceso clave para la producción de células fotovoltaicas. Mezcla y difunde pequeñas cantidades de boro, fósforo y otros elementos en la oblea de silicio a altas temperaturas para preparar uniones PN y compone circuitos integrados de ella. También se puede utilizar para preparar películas siox en la superficie de la oblea de silicio para proteger a las obleas. Es común usar termopares que midan las partes internas y externas del horno para controlar la temperatura interna del horno de difusión que podría realizar el proceso de oxidación. Cada zona de temperatura especificada tiene un termopar externo e interno para asegurarse de que los resultados de la medida sean confiables. Los termopares de cuarzo de metal noble multipunto se usan para medir la temperatura de la oblea, comúnmente tiene 3 ~ 9 puntos de medida, que representan la temperatura de la oblea con precisión.

Descripción de los productos

Con este fin, el duchino ha desarrollado técnicas y productos patentados como termopar de cuarzo de metal noble multipunto para la medición de temperatura de toda la sección en el horno de difusión, un dispositivo de calibración para termopar de múltiples puntos.

El producto tiene algunos rasgos de medición de temperatura confiable, alta precisión, buena estabilidad, respuesta térmica rápida, anti-interferencia, resistencia al impacto de alta y baja temperatura, larga vida útil, etc. Los parámetros técnicos del termopar de perfil de semiconductores son los siguientes:

Parámetros técnicos	Termopar de perfil de semiconductores
Tipo	S,R
Diámetro de alambre o mims	φ0.35~0.5
Temperatura de trabajo (grado)	0~1100
Precisión (grado)	±1.0
Longitud del tubo protectora (mm)	Menos de o igual a 4000
Diámetro de tubo protector (mm)	φ12~18
Material de tubo protector	Cuarzo
Estructura de extremo caliente	Expuesto
Número de puntos	3 ~ 6 puntos
Terminación	Conector pequeño
Cable de compensación	Sc {{0}} × 0.5fpf
Características de la estructura	Ensamblar T/C en combinación para cada punto es bastante difícil